Muatan ruang terjadi saat medan elektrik tinggi dikenakan pada elekroda (sekitar 10000 V/cm) sehingga muatan diinjeksikan dari elektoda dan muatan ruang terbentuk pada insulator atau semikonduktor yang mempunyai konsentrasi pembawa muatan termal rendah. Konsentrasi awan muatan ruang secara cepat menurun dengan meningkatnya jarak terhadap elektroda.
Pada potensial rendah, densitas arus yang mengalir memenuhi hukum Ohm:
Ketika potensial ditingkatkan, muatan cenderung terakumulasi pada daerah di antara elektroda dan medan listrik yang diakibatkan oleh akumulasi muatan ini selanjutnya akan mempengaruhi arus listrik yang mengalir.
Mekanisme ini dinamakan Space Charge Limited Current (SCLC):